삼성전자는 보유 중이던 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 지분 2.9% 중 절반인 1.45%(603만주)를 6억8000만달러(약 7400억원)가량에 매각한다고 8일 발표했다.

ASML은 반도체 공정의 핵심장비인 노광기 분야 세계 1위 기업이다. 특히 10나노(1㎚=10억분의 1m) 미만의 미세공정을 처리할 수 있는 극초단파노광기(EUV)를 세계에서 유일하게 생산하고 있다. EUV는 대당 가격이 1000억원대에 이를 정도로 고가다.

삼성은 2012년 인텔, TSMC 등과 비슷한 시기에 ASML 지분을 매입했다. 사실상 독점 공급업체인 ASML과 원활한 관계를 맺기 위해서였다. 하지만 EUV의 수율(전체 생산량 중 출고 가능한 제품 비중) 개선 속도가 기대에 못 미치면서 지분을 매각하기로 한 것으로 업계는 해석했다.

남윤선 기자 inklings@hankyung.com

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